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原位電學測試平臺,適用于半導體材料、器件變溫下的電學測試,設計小巧,便攜集成顯微、光譜系統
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實驗室通用輔助設備
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原位電學測試平臺,適用于半導體材料、器件變溫下的電學測試,設計小巧,便攜集成顯微、光譜系統。
┃ 設備特點
溫度范圍 -190℃~600℃,RT~1000℃
溫度穩定性 ±0.05℃
氣氛保護、真空
樣品區 28x30mm
探針數量 4個
電學接頭 BNC 三同軸BNC 可選
臺面電位 電接地 三同軸 背電極 可選
適配光學儀器 顯微鏡 光譜儀 鐵電 介電 電化學工作站 磁場 電學源表 半導體分析儀 DLTS
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