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UL1000Fab氦氣泄露檢測儀
產品簡介
UL1000Fab氦氣檢漏儀是工業或半導體環境中經濟型氦氣真空泄漏檢測的標準。
通過儀器的干式泵技術，可以消除被測部件或設備被碳氫化合物或顆粒污染的可能性。UL1000FAB在高性能、超高穩健性和經濟性之間提供了的性價比。它提供的10-12mbar·l/s檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應時間的特點。緊湊的設計提供了高度的機動性，方便進入空間有限的維修區域。可選的背景本底抑制（iZERO）功能能夠在2秒內實現低于現有背景本底水平狀態持續進行泄漏測試。
┃ 典型應用
對清潔度要求嚴苛的工業真空設備制造
在將真空組件或子組件安裝到現有工具中之前
真空工具的維護工作，無論是否有泵的支持
工藝氣體系統的檢查和安裝
半導體、平板顯示器或太陽能電池制造
┃ 設備特點
通過縮短抽氣時間和響應時間加快泄漏檢測工作
通過使用可選的背景抑制（izero），避免需要進行多次泄漏測試
通過緊湊的設計方便進入空間有限的維護區域
通過耐用的兩個熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統實現低擁有成本(TCO)
通過可旋轉顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠程控制降低應用難度
通過內置泄漏測試和自動校準程序實現低成本維護
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